本試驗(yàn)設(shè)備適用于半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)其產(chǎn)品及材料無(wú)氧銅進(jìn)行高溫的環(huán)境下的固化或檢驗(yàn)其各項(xiàng)性能指標(biāo)。

二、技術(shù)指標(biāo)：

產(chǎn)品名稱

20PPM無(wú)氧烘箱

產(chǎn)品型號(hào)

GW-800L-DZ

內(nèi)部尺寸mm

800*1000*1000mm（深*寬*高）

外部尺寸mm

約1050*1650*1550mm（深*寬*高）

子母車尺寸mm

650*800*900mm（深*寬*高）

容   積

0.8立方

溫度范圍

                 室溫+15~300℃

溫度波動(dòng)度

≤±0.5℃

溫度均勻度

≤±1.5%℃

升溫速率

3~5℃/min可調(diào)節(jié)

O2濃度控制范圍

20ppm、500ppm、2000ppm

O2濃度分辨率

±1ppm

含氧量誤差

0-99PPM之內(nèi)是10ppm誤差

100-2000PPM之內(nèi)是3%FS

氮?dú)饬髁繖z測(cè)

0~600L/min（顯示范圍）

氮?dú)饬髁空{(diào)節(jié)

0~480L/min

0~100L/min

備注：預(yù)期手動(dòng)調(diào)節(jié)好，自動(dòng)根據(jù)濃度切換流量

氮?dú)鈮毫z測(cè)

-100kpa~100kpa可設(shè)定，當(dāng)腔內(nèi)內(nèi)部氮?dú)庹龎毫Τ鲱A(yù)警壓力值自動(dòng)報(bào)警切斷進(jìn)氣閥門

裝機(jī)功率

7.8KW

三、系統(tǒng)配置及技術(shù)說(shuō)明：

1、箱體結(jié)構(gòu)

內(nèi)箱材質(zhì)

1.5mm厚度優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼鏡面不變形

外箱材質(zhì)

1.2mm厚度冷軋鋼板靜電烤漆，顏色9003米白色，堅(jiān)固、美觀、耐用

外箱溫度

箱體表面溫度≤室溫+10℃

內(nèi)箱工藝

采用不銹鋼整體滿焊焊接成形，確保在注入惰性氣體狀態(tài)下充分循環(huán)保護(hù)試驗(yàn)樣品

保溫棉

整機(jī)保溫層厚度100mm，超細(xì)超陶瓷纖維保溫棉/硅酸鋁板填充

加熱器

瓷片式加熱器，內(nèi)嵌式加熱元件安裝于不銹鋼腔體夾層中極為安全

風(fēng)機(jī)循環(huán)

雙組專用長(zhǎng)軸高溫渦輪結(jié)構(gòu)風(fēng)機(jī)，專長(zhǎng)軸設(shè)計(jì)高溫環(huán)境下抗溫變能力更優(yōu)秀

降溫方式

氮?dú)饨禍?，程序預(yù)設(shè)定保溫時(shí)間終了降溫泄壓閥自動(dòng)打開(kāi)

氣體保護(hù)

操作面板設(shè)計(jì)惰性氣體控制流量計(jì)，通過(guò)調(diào)節(jié)流量來(lái)控制進(jìn)氣，自動(dòng)閥門打開(kāi)，到達(dá)濃度自動(dòng)關(guān)閉保持低氧濃度環(huán)境

氮?dú)饨涌?/span>

箱體底部安裝后10mm口徑自動(dòng)進(jìn)氣口，進(jìn)氣口與控制氮?dú)饬髁抗苈愤B接。

門封材料

箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型日本進(jìn)口硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)最小化熱氣泄露

2、測(cè)控系統(tǒng)

溫度控制器

采用PLC系統(tǒng)，7寸觸摸屏控制 、具備多組PID加自適應(yīng)控制可編程100個(gè)溫度階梯與升溫與保溫時(shí)間、O2濃度保持，運(yùn)行數(shù)據(jù)保護(hù)與實(shí)時(shí)查詢

控制器操作界面設(shè)中英文可供選擇

傳感器

PT100/K型熱電偶溫度測(cè)試傳感器

三色燈報(bào)警定義

1、綠色燈點(diǎn)亮為運(yùn)行正常

2、黃色燈點(diǎn)亮待機(jī)狀態(tài)

3、紅色燈點(diǎn)亮為異常報(bào)警